Класифікація підкладки з карбіду кремнію

За різними електричними властивостями підкладки з карбіду кремнію можна розділити на два типи: напівізоляційні підкладки з карбіду кремнію та провідні підкладки з карбіду кремнію. Напівізоляційні підкладки з карбіду кремнію в основному використовуються для виробництва радіочастотних пристроїв з нітриду галію. Шляхом вирощування епітаксійного шару нітриду галію на напівізоляційній підкладці з карбіду кремнію виробляється епітаксіальна пластина нітриду галію на основі карбіду кремнію, яка в подальшому може бути використана для виготовлення радіочастотних пристроїв з нітриду галію. Струмопровідні підкладки з карбіду кремнію в основному використовуються у виробництві силових пристроїв. На відміну від традиційного процесу виробництва кремнієвих силових пристроїв, силові пристрої з карбіду кремнію не можна виготовляти безпосередньо на підкладках з карбіду кремнію. Для отримання епітаксіальної пластини карбіду кремнію необхідно виростити епітаксіальний шар карбіду кремнію на провідній підкладці, а на епітаксіальному шарі виготовляти різні типи силових пристроїв. пристрій.