З якого матеріалу виготовлені кремнієві пластини?
Mar 13, 2024
Кремнієві пластини виготовлені з монокристалічного кремнієвого матеріалу. Монокристалічний кремній - це кремнієвий матеріал високої чистоти з цілісністю та консистенцією кристалічної структури. Це один із найпоширеніших матеріалів підкладки в напівпровідниковій промисловості для виготовлення інтегральних схем (ІС) та інших напівпровідникових пристроїв.
Монокристалічний кремній вирощують при високих температурах за допомогою таких методів, як хімічне осадження з парової фази (CVD) або метод плаваючої зони монокристалічного кремнію. У цьому процесі кремнієвий матеріал росте як монокристал, утворюючи кремнієвий злиток. Кремнієвий злиток проходить різання, вирівнювання, полірування та інші етапи процесу, і, нарешті, робиться плоска кремнієва пластина певної товщини.
Кремнієві пластини мають відмінні електричні та механічні властивості, хорошу теплопровідність, високу стійкість до хімічної корозії та хороші оптичні властивості. Це робить кремнієві пластини ідеальним матеріалом підкладки для виготовлення напівпровідникових та оптоелектронних пристроїв. Розмір кремнієвих пластин зазвичай описується діаметром. Загальні діаметри включають 2 дюйми (50,8 мм), 4 дюйми (101,6 мм), 6 дюймів (152,4 мм), 8 дюймів (203,2 мм) і 12 дюймів (304,8 мм).

